欧洲杯-米乐M6官方网站【金鉴出品】如何挑选一款优质的VCSEL激光器

　　VCSEL主要由三部分组成，即激光工作物质欧洲杯-米乐M6官方网站、崩浦源和光学谐振腔。工作物质是发出激光的物质，但不是任何时刻都能发出激光，必须通过崩浦源对其进行激励，形成粒子数反转，发出激欧洲杯-米乐M6官方网站光，但这样得到的激光寿命很短，强度也不会太高，并且光波模式多，方向性很差。所以还必须经过顶部反射镜(Top Mirror)和底部反射镜( Bottom Mirror)组成的谐振腔，在激光腔(Laser Cavity)内放大与振荡，并由顶部反射镜(Top Mirror)输出，而且输 出的光线只集中在中间不带有氧化层(Oxide Layers)的部分输出。这样就形成了垂直腔面的激光发射，从而得到稳定、持续、有一定功率的高质量激光。结构示意图如下图所示：

　　VCSEL的发光原理：VCSEL常用的原材料有砷化镓、磷化铟或氮化镓等发光化合物半导体。衬底方面，不同材料衬底厚底不同，但总体厚度约100-150um,在制作时保留300-600um厚，方便机器手抓取。外延方面，共200多层，总厚度才8-10um（包括谐振腔），外延片不能太厚，主要原因是MOCVD烤炉的时间效率（10um需要烤10小时）及偏差（越高越容易走形）考虑。VCSEL与其它半导体激光发光原理一样，首先要实现能量激发，通过外加能量激发半导体的电子由价带跃迁到导带，当电子由导带返回价带时，将能量以光能的型式释放出来。然后依靠上下两个DBR反射镜和增益物质组成的谐振腔实现共振放大，谐振腔使激发出来的光在上下两个DBR反射镜之间反射（谐振腔长200nm，来回几千次后，总路径可长达4mm），不停地通过发光区吸收光能，使受激光多次能量反馈而形成激光。