专利摘要显示,本实用新型提出了一种微环谐振腔同质集成波长可调谐半导体激光器,属于集成光学的技术领域,用以解决外腔型波长可调谐半导体激光器中源增益芯片在耦合时存在光损耗的技术问题。包括衬底,衬底的两侧分别设有n面电极和外延层,所述外延层上包括增益放大区和非增益放大区,增益欧洲杯-米乐M6官方网站放大区中设有增益结构,增益结构包括增益波导,增益波导上设有P面电极,非增益放大区中设有微环波长调谐结构,微环波长调谐结构包括平行排列的输入耦合波导和输出耦合波导,输入耦合波导和输出耦合波导之间设有微环波导。本实用新型具有结构简单可靠,集成度高欧洲杯-米乐M6官方网站、制备成本低等优势。
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